Вакуумная установка Irida

Цена: цену уточняйте

в наличии

Цены в категории: 100 ₽ — 29 744 738 ₽

ООО "ЭСТО-Вакуум"

Москва — На сайте с 13 сен 2019

Телефон: +7 (499) 710-60-00

Адрес компании: 124460, г. Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.4, стр.1
Доставка, самовывоз: Москва

Пожаловаться

Описание

Серия кластерного вакуумного оборудования на основе уникального источника энергосберегающего источника плазмы высокой плотности, которая реализует процессы вакуумного ионно-плазменного нанесения, травления и очистки изделия.
Разработанная кластерная установка с тремя процессными модулями на основе масштабируемого и энергосберегающего источника ПВП используется для реализации следующих процессов:
- нанесение различных покрытий, функциональных слоев и тонкопленочных структур с заданными (регулируемыми) физико-химическими свойствами;
- очистка, модификация и имплантация поверхности различных материалов с целью придания им требуемых физико-химических свойств;
- высокоразрешающее (с субстананометровым разрешением) травление и проявление различных материалов в маршрутах современной фотолитографии и наноимпринт литографии;
- глубокое реактивное ионное травление в маршрутах микро- и наноприборов с трехмерной интеграцией.